冷等离子体的特点是:1)存在电子碰撞激发和退激发、光激发和自发辐射衰变、电子碰撞电离和多体复合等原子过程，非平衡等离子体 材料以及分子解离、分解电荷交换、等离子体中带电粒子的中和和群的置换。由于这些过程的存在可以产生自由基激发的原子和分子，亚稳态原子和分子，这种非平衡等离子体是由许多易于发生一系列化
